海普克(HEPCOMOTION)的V型导轨在真空环境中的应用

Riber公司了一种新的机器，需要到一套直线驱动系统，来实现真空室内的晶圆支座的抓取和放置。这套系统的原理，是把一套直线运动系统安装在旋转机械臂的末端。应用了海普克(HEPCOMOTION)公司的不锈钢导轨和真空应用滚轮。